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碳化矽氮化鎵比較
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第一章導論1.1 研究背景
氮化鎵 結構如圖2-1-1-2所示為六方晶隙(hexagonal),最常見生長在氮化鎵上. 的基板為藍寶石基板與碳化矽基板,其晶格常數與熱膨脹係數由表2-1-1-2 可比較.
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