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碳化矽(SiC)長晶與晶圓薄化設備的技術發展趨勢 - IEK產業情報網

然而目前SiC長晶與晶圓薄化(切割、研磨、拋光)效率緩慢，使得目前製作成本居高不下，是SiC產業最關鍵的挑戰之一。因此本文透過觀察國際SiC晶圓領導 ...

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