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應用材料公司新技術助力一流碳化矽晶片製造商

和矽比較，SiC 本身較為堅硬，其原生缺陷可能會導致電氣性能、功率效率、可靠. 性和產能下降，所以，需要更先進的材料工程技術來優化裸晶圓的生產，並建構對晶格損害最小.

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