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TW201903224A - 碳化矽晶片及其定位邊加工方法

... 與碳化矽晶片的邊緣銜接處分別為第二R角，且第二R角的半徑為1mm~10mm。由於平口兩端與碳化矽晶片的邊緣銜接處設有最佳半徑範圍的R角，所以能提高晶片加工量率與品質。

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