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碳化矽晶圓
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https://books.google.com.tw/books?id=mHIsEAAAQBAJ&pg=PA22&lpg=PA22&dq=%E7%A2%B3%E5%8C%96%E7%9F%BD%E6%99%B6%E5%9C%93&source=bl&ots=rdzUF3Xu9z&sig=ACfU3U0moDKxkufdghOG3FG1RXXYAyoXeg&hl=zh-TW&sa=X&ved=2ahUKEwjU14C33rj0AhUM3jgGHaOSACgQ6AF6BQirAhAD
新電子 05月號/2021 第422期 - 第 22 頁 - Google 圖書結果
得其Cold Split切割技術,可以在SiC晶圓完成製程步驟後,將一片晶圓再等分切割出第二片,等於讓材料利用率提升一倍,在降低成本方面創造出可觀效益。整體而言,SiC的材料 ...
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