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碳化矽基板 製程
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CTIMES- 碳化矽基板及磊晶成長領域環球晶布局掌握關鍵技術
化合物半導體是兩種以上的元素結合,必須考慮晶格及原子的匹配性,在晶球生長、磊晶製程及晶圓加工階段都算困難。以SiC為例,將碳與矽兩種材料進行高溫 ...
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