... 一座5nm先进制程晶圆厂,第一阶段产能可达每月2 万片晶圆,预计于2024年量产。 ... 志橙)是国内首家实现碳化硅石墨盘国产化、唯一量产半导体外延用SiC涂层石墨基 ...
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