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碳化矽基板 製程
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碳化矽裂片技術淺談與其產業應用 - 機械工業網
其中,以目前正蓬勃發展的第三代半導體材料碳化矽(Silicon Carbide, SiC)為例,此材料具備高頻、高 ... 究其根本,主要因SiC基板和磊晶的製程困難。
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