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日本Engis碳化矽基板拋光設備 - 儒漢甡股份有限公司

雖然單晶碳化矽基板在研磨拋光製程上比藍寶石基板相對困難，但是在高階藍光LED表現上卻是比藍寶石基板更勝一籌。 目前在日本之單晶碳化矽基板量產大多是以2吋為主， ...

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