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碳化矽半導體設備零件- SiC Edge-Ring - 鴻創HCAT

鴻創應用以碳化矽素材研發SiC 乘載盤、SiC Edge-Ring、SiC RTP H-Ring等碳化矽半導體設備零件；碳化矽(SiC)具有抗離子、耐高溫、高壓等特性，加上碳化矽(SiC)熱傳導與 ...

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