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第五章電子束加工

環狀槍. 陰極和聚束極做成環狀，坩. 堝是陽極，電子束沿著環形. 聚焦極與陽極形成環形電場. 到達陽極並衝擊材料。缺點. 是能量密度較低。 Page 29. 藍翔耀老師.

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