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硬度試驗目的
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第三章實驗方法與步驟
積後須針對膜層之機械性質(如硬度、附著性)、微結構(如表面形貌、. 粗糙度)… 等進行測試分析,最後得到在不同濺鍍條件下本機之TiN. 薄膜最佳製鍍參數。
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