目前主要應用於IC 銅導線製程的鍍浴主要為酸性硫酸銅系統,但傳統. 的銅酸氯(硫酸銅、硫酸與氯離子)配方 ... PEG = 300 ppm ~ 1000 ppm(≒0.3 M) (PEG 分子量3350).
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