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(12)發明說明書公告本

一、發明名稱:(中文/英文). ※IPC 分類: ... 本發明之蝕刻液適用於於鉬層上設置有銅層之多層薄膜之蝕刻。 ... 硫酸銅、硝酸銅等的銅鹽,使蝕刻液中含有銅離子。

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