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砷化鎵晶圓
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國產設備於化合物半導體領域的機會研析 - 材料世界網
隨著5G、電動能源車、光達等產業興起,矽晶圓受限於高頻與大功率操作限制, ... 歐、美、日廠商為主,例如GaN與GaAs的磊晶設備、SiC的長晶與晶圓加工設備.
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