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砷化鎵晶圓
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砷化鎵基片和表面處理過的砷化鎵基片及其製法和使用
在乾燥氧化處理中,GaAs表面被更強烈氧化到整個GaAs,因為前側的氧化物部份按晶圓背方向成長。具有與源自前導製法的晶圓表面其他部份不同表面性質的區域(以下稱為不均勻 ...
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