... 材料等基板之製造廠大多採用日本Engis公司超精密拋光專業設備技術及優異磨料,例如單晶碳化矽(SiC)、藍寶石(Sapphire)、氮化鋁(AlN)、氮化鎵(GaN)、砷化鎵(GaAs)、 ...
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