開啟冰水機、CVD、流量控制器、真空幫浦的電源. 2. ... 爐內壓力到達700mtorr 才可以破真空。 7. , 破真空的方式:1,切斷主抽蒸汽總閥,打開輔抽空氣閥,讓表冷器直接 ...
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