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高真空管狀退火爐儀器負責人： 陳勝吉老師分機： 4679 地點

G1(高真空計)，抽真空至5 x 10. -2 以下，再. 將RV 閥關閉，打開FV 閥. 4. 最後慢慢將HV 閥開到最大，等待製程所需. 的真空値即可。 破真空: HV 閥關閉，打開玻璃管上 ...

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