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中研院應科中心無塵室儀器管理 - RCAS-Sinica

英文 名稱：RF Sputter ... 破真空前，先確認MAIN VALVE已關閉 ... l 按下”CH VENT”和”START”破真空，待ATM燈亮，即腔內達一大氣壓，再復歸”START” 和”CH VENT”。

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