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砂輪結合度
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UV-LIGA結合複合電鑄技術製造微型鑽石砂輪之研究
Zhou[11]等使用一種新的磨削矽晶片加工方法,以固定磨料取代磨料漿磨. 料,能夠得到良好的表面粗糙度與平坦性,雖然密集的切削可以改善表面粗糙. 度,但這樣密集的切削也會 ...
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