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具自銳性能研磨砂輪開發及其對晶圓片研磨效果之研究

本研究流程分為兩個部份，第一部份為陶瓷基研磨砂輪原料配比研究，並探討實驗室自製之中空玻璃次微米球作為造孔劑的影響，造孔劑的中空結構易受研磨力的作用而破裂，可 ...

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