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第二十三章半導體製造概論

晶片在無塵環境中進行嚴格的檢查，包括表面的潔淨度、平坦度以及各項規格以確保品質 ... 的二氧化矽上，然後整個晶圓將進行微影（Lithography）的製程，先在晶圓上上 ...

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