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編號查詢： 計畫年度 - 政府研究資訊系統GRB

目前台灣大規模的矽晶圓製造廠均有設置矽泥廢料回收系統，持續回收廢料中的大顆粒碳化矽與二醇類切割油，並回用於切片製程中。然而，隨著切割-回.

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