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SiC晶圓製造究竟難在哪？ - 電子工程專輯

SiC元件製造必須要經過磊晶步驟，磊晶品質對元件性能影響很大。SiC基元件與傳統的矽元件不同，SiC基板的品質和表面特性不能滿足直接製造元件的要求，因此 ...

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