因此如. 何在矽晶圓生成無裂痕氮化物磊晶層,並且不會在. 室溫下破裂與彎曲變形,是目前許多研究學者所努. 力的目標。 III-nitride 磊晶成長在Si 基板時,Si 基板具有. 圖2 ...
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