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矽磊晶
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從矽鍺異質接合介面的能帶結構分析到甲基化矽基板上的氧化鋅 ...
本論文從兩個面向的研究以助矽磊晶領域的更進一步發展。磊晶不只能分別整合多種單晶薄膜材料於一單晶基板上,並且能控制晶體的成長方向,於矽的半導體磊晶製程領域,更 ...
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