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矽磊晶
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https://ndltd.ncl.edu.tw/cgi-bin/gs32/gsweb.cgi/login?o=dnclcdr&s=id=%22097NCKU5159038%22.&searchmode=basic
以液相磊晶法製備單晶碳化矽的製程開發及生長機制的研究
研究中使用一個能同時溶解基材及磊晶的稀土元素-過渡金屬共晶溶劑於矽晶上,反應生成碳化矽單晶,並沿著原本矽晶晶格結構成長,生成大面積3C-SiC 單晶。
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