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矽磊晶
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國立陽明交通大學機構典藏:選擇性成長矽磊晶層的結構分析
選擇性成長矽磊晶層是在低壓化學汽相沉積的反應爐中來長矽磊晶膜所使用的物質是二氯矽烷和氫氣,我們將討論晶片的準備,沉積的溫度,和二氯矽烷的流速問題.矽磊晶表面的 ...
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