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矽磊晶
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第3類半導體晶片怎麼做?基板難在哪?圖解生產流程 - 數位時代
通常在磊晶過程中,會經過2個步驟:先在基板表面沉積化學物質,而後才會在基板上形成薄膜,俗稱磊晶。 就難度來講,碳化矽磊晶的挑戰相對較小,因為碳化矽 ...
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