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台灣矽晶圓再生產業之經營與發展研究

控檔片的新片供應來自矽晶圓供應商，而再生晶圓(reclaim wafer)為使用過的控片及檔片，或是報廢下腳的產品晶圓(pattern wafer)，經由研磨及拋光後回復到與原始晶圓相同 ...

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