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矽晶棒英文
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第3類半導體晶片怎麼做?基板難在哪?圖解生產流程
1 利用碳化矽晶種生長單晶. 將碳化矽的粉體倒入長晶爐,透過高溫加熱,讓粉體變成蒸汽,冷凝後黏著在晶種上,形成碳化矽晶錠(或稱晶棒,Ingot).
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