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化合物半導體基板

化合物半導體基板係具備Si(矽)基板、與形成於Si基板之表面的SiC(碳化矽)層、與形成 ... 另外，3C-SiC(具有3C型之晶體結構的SiC)係因為與GaN(氮化鎵)之晶格常數接近， ...

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