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目錄:

薄膜時，有二個重要的因素需要克服解決，一為選擇晶格常數(lattice constant)與氮 ... 矽（SiC）在矽晶（Si）上的磊晶需先碳化矽晶表面才能長好碳化矽磊晶膜是一致的。

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