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半導體物理與元件 - 光電工程系- 國立臺北科技大學

其中，aAlAs係AlAs二元化合物半導體的晶格常數，及aGaAs係GaAs二元化 ... 晶矽。LPCVD反應腔通常操作在高於650℃的溫度下。 在PECVD的製程當中，反應氣體從輝光放電 ...

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