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藍寶石基底矽晶薄膜

雖然 r-晶面，(1102) 晶面藍寶石基板與單晶矽晶格結構和常數相似，但仍有5%以上的差異，屬於異質磊晶製程。這項晶格常數差異導致在此薄膜和生長基板間的介面處產生高 ...

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