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晶圓:製造過程,基本原料,製造工藝,表面清洗,初次氧化,熱CVD ...

晶圓 是指矽半導體積體電路製作所用的矽晶片，由於其形狀為圓形，故稱為晶圓；在矽 ... 不平，深孔中的表面亦產生反應，及氣體可到達表面而附著薄膜)等，故用途極廣。

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