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晶圓翹曲之應力分析技術

在矽晶片上沉積氮化矽薄膜時，由於其中的殘留應力（Residual stress），薄膜經常會產生嚴重的翹曲。此處所謂之殘留應力亦可稱為內應力，可以分成兩 ...

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