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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊

討說明，並將矽晶圓製造業各類廢棄物資源化之實際執行情形彙整成 ... 化矽SiC）與切削油混合之切削劑作為冷卻用途，用以帶走切割過程產生的熱，.

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