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矽晶圓用途
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http://homepage.ntu.edu.tw/~nlw001/handouts/semi-TK/TKchap4-%E6%99%B6%E5%9C%93.pdf
為何是矽? 晶向平面: <100>
豐富,便宜. • 二氧化矽非常穩定,強介電常數,在熱. 製程中容易成長. • 大的能隙,寬廣的操作溫度範圍. 第二章晶圓製造. 2. 晶向平面: <100>.
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