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半導體製程設備技術 - 第 85 頁 - Google 圖書結果

離子束方向垂直方向掃描水平方向掃描晶圓晶圓承載裝置圖1.54 靜電式掃描示意圖機械式 ... 離子束在入射半導體矽晶圓後,在晶格間隙中產生的通道效應(Channel Effect)。

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