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矽晶圓半導體材料技術(精裝本)

產業現況之外，尚包含了以下單元：矽晶的基本性質、多晶矽的製造技術、單晶生長、矽晶缺陷、矽晶之. 加工成型、性質檢測等單元。作者將本書的重點放在矽晶圓製造流程的 ...

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