以單晶矽蝕刻製程為例,單晶矽晶片使用鹼蝕刻溶液,如氫氧化鈉(NaOH)或氫氧化鉀(KOH),蝕刻裸露出矽晶<111>的截面,產生金字塔形狀的表面,稱為方向性蝕刻(Anisotropic ...
確定! 回上一頁