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第三章應用理論與技術 - 國立臺灣師範大學

晶格方向 和晶體平面通常使用米勒指標(Miller index)表示，圖. 3-2 為一些重要立方晶體平面的 ... 影響非等向性溼式蝕刻的因素十分複雜，主要的因素包括矽晶圓的晶格方.

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