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矽晶圓晶格方向
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https://technews.tw/2021/09/22/wide-band-gap-gan-sic/
第三代半導體到底紅什麼?4 張圖秒懂GaN、SiC 這一項關鍵技術
不過,SiC 晶圓製造難度高,對於長晶的源頭晶種要求高,不易取得,加上 ... GaN-on-Si 製程要將氮化鎵磊晶長在矽基材上,有晶格不匹配的問題須克服。
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