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首先我們利用套裝軟體ANSYS來模擬分析鑽石刀具刻劃硬脆材料時矽晶圓之破裂情形。 ... 此現象我們也可以得知當刻劃角度大時，鑽石刀尖的方向會導引成脆性材破裂的方向。

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