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5 Thermal Processes

度遠低於在單晶矽中. • SiO ... 晶圓方向. • <111> 表面比<100> 表面具高的氧化速率. • 具更多的矽原子在表面上 ... 離子佈植後需要熱退火來修復晶格結構和活.

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