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矽晶圓晶格方向
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初探國際半導體大廠ROHM之SiC碳化矽專利佈局 - 北美智權集團
ROHM集團在碳化矽晶圓(含襯底及磊晶成長)的歷年專利公開趨勢 ... 調整具有非均勻晶格平面的碳化矽晶體結構,每個點的晶格平面相對於中心縱向軸的方向 ...
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