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(12)發明說明書公告本

離子的構成元素在半導體晶圓表面的結晶的晶格隙位置或置換位. 置固溶的層。矽晶圓的深度方向上的碳及硼的濃度分佈取決於團. 簇離子的加速電壓及團簇尺寸,但與單體離子 ...

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