14 國立高雄第一科技大學機械系余志成2004 微系統製造與實驗─矽基非等向性溼蝕刻8 NKFUST 單晶矽的晶格方向與蝕刻速率„ {110}晶面雖然有三個共價鍵,但因晶面的原子 ...
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